多晶硅生產(chǎn)四氯化硅循環(huán)利用技術(shù)通過驗(yàn)收
近日,青海省科技廳組織有關(guān)對(duì)青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司新能源分公司承擔(dān)的青海省“123”科技支撐工程項(xiàng)目“多晶硅生產(chǎn)四氯化硅循環(huán)利用產(chǎn)業(yè)化技術(shù)”進(jìn)行了驗(yàn)收和成果鑒定。
該項(xiàng)目引進(jìn)國(guó)外的氫化爐硅粉給料系統(tǒng)及反應(yīng)器,在泡罩改造四氯化硅低溫氫化流化床氣體分布結(jié)構(gòu)上進(jìn)行再創(chuàng)新,通過對(duì)流化床阻力降、催化劑添加量、氫氣與四氯化硅的摩爾比等工藝條件上進(jìn)行了優(yōu)化,提高四氯化硅生產(chǎn)三氯氫硅的單程轉(zhuǎn)化率達(dá)到26%,大幅度的降低了多晶硅生產(chǎn)過程中四氯化硅的排放,實(shí)現(xiàn)了低能耗生產(chǎn)。該技術(shù)達(dá)到國(guó)內(nèi)水平,可以在同行業(yè)內(nèi)進(jìn)行推廣,具有很強(qiáng)的應(yīng)用創(chuàng)新性。目前,青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司新能源分公司生產(chǎn)三氯氫硅產(chǎn)能達(dá)到1250噸,2012年產(chǎn)值達(dá)到1.68億元,經(jīng)濟(jì)效益明顯。
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